廣州潽拓光電科技有限公司——安捷倫真空分子泵
安捷倫SH-110是業(yè)內的干式密封渦旋泵,可以方便地組裝到原始設備制造商(OEM)系統(tǒng)中。這種單級泵體積小巧, 抽速110升/分(頻率60Hz) ,極限壓力50 mtorr (0.07 mbar) ,許多終用戶應用的理想選擇。
SH-110泵符合歐盟(CE)、加拿大標準協(xié)會(CSA)和Semi S2-0200的要求。
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Agilent TV-301 Tubro渦輪轉子由永jiu潤滑的高精度陶瓷球軸承支撐，該軸承安裝在泵的前排側。定子的靜葉片由不銹鋼制成。這些由墊片環(huán)支撐并精que定位。Macrotorr定子采用自定位的機加工盤形式，具有泵送通道和受相應轉子盤限制的開口。這些由鋁合金制成。
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Agilent TV903 安捷倫渦輪分子泵保養(yǎng)
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真空泵的使用過程注意哪些？
1：真空泵在運行過程中，軸承溫度不能超過環(huán)境溫度35C，溫度不得超過80C。
2：真空泵維修保養(yǎng)如發(fā)現(xiàn)真空泵有異常聲音應立即停車檢查原因。
3：真空泵要停止使用時，先關閉閘閥、壓力表，然后停止電機
4:真空泵在工作一個月內，經(jīng)100小時更換潤滑油，以后每個500小時，換油一次
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