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氦質(zhì)譜檢漏儀分子泵故障及處理
1、儀器界面上TMP顯示“0”即分子泵沒(méi)有工作
有可能是前級(jí)壓力過(guò)高(該分子泵的啟動(dòng)壓力為200Pa)導(dǎo)致分子泵無(wú)法啟動(dòng)。檢查導(dǎo)致壓力過(guò)高的項(xiàng)目有：真空規(guī)管是否有問(wèn)題，分子泵出口是否打開(kāi)，機(jī)械泵油是否太臟或機(jī)械泵是否轉(zhuǎn)動(dòng)，系統(tǒng)是否有泄漏。也有可能是分子泵的葉片或轉(zhuǎn)子被損害，可自行用工具撥動(dòng)葉片，判斷其能否轉(zhuǎn)動(dòng)。
分子泵加速指示燈不亮
電路板上的保險(xiǎn)絲燒斷，更換保險(xiǎn)絲或檢查是否有短路現(xiàn)象。
分子泵故障燈亮
檢查電路板設(shè)置開(kāi)關(guān)是否處于R位置，此時(shí)應(yīng)該在N位置。檢查風(fēng)扇是否停止，如風(fēng)扇正常，則可能為氦質(zhì)譜檢漏儀分子泵電源故障。
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檢驗(yàn)一臺(tái)真空泵性能是否穩(wěn)定，可以從以下【真空度】【抽氣量】這兩個(gè)參數(shù)衡量，所謂抽氣，就是它的流量。假設(shè)一臺(tái)泵是抽氣量是100M3/H，但是工作一段時(shí)間后，只能抽80M3/H了，就是抽氣慢了，從而直接影響到工作效益。真空泵出現(xiàn)抽氣慢，抽不上去的故障原因有很多，每個(gè)環(huán)境工藝會(huì)出現(xiàn)的問(wèn)題也不完全相同。varian TV401 301分子泵維修
螺桿式無(wú)油真空泵，它可包含用于低真空的直排大氣型羅茨真空泵，varian TV401 301分子泵維修，以及用于中高真空的機(jī)械增壓泵與多級(jí)羅茨真空泵。這里面提到的直排大氣型羅茨真空泵主要是濕式羅茨真空泵和氣冷式羅茨真空泵（多級(jí)羅茨真空泵也可直排大氣）。直排大氣型羅茨真空泵為了實(shí)現(xiàn)在常壓下啟動(dòng)，在結(jié)構(gòu)上犧牲真空度，通過(guò)加大轉(zhuǎn)子間隙、改變轉(zhuǎn)子結(jié)構(gòu)、加強(qiáng)冷卻等方式實(shí)現(xiàn)在高壓差下運(yùn)轉(zhuǎn)（多級(jí)羅茨泵則通過(guò)多級(jí)轉(zhuǎn)子串聯(lián)實(shí)現(xiàn)高壓差運(yùn)轉(zhuǎn)）。varian TV401 301分子泵維修
磁共振儀的*心部件是射頻線圈,由于高溫超導(dǎo)材料對(duì)外界環(huán)境要求非常高,為避免空氣中各種氣體成分,以及雜質(zhì)對(duì)其影響進(jìn)而需要分子泵抽真空,一般真空度要求在3*10-7mbar左右.varian TV401 301分子泵維修
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渦輪分子泵抽氣系統(tǒng)。渦輪分子泵可以串聯(lián)干式機(jī)械泵組成無(wú)油超高真空系統(tǒng)，不烘烤可以實(shí)現(xiàn)10-6Pa的真空度，經(jīng)烘烤可以達(dá)到10-8Pa的真空度。如果串聯(lián)擴(kuò)散泵作為前級(jí)泵，降低前級(jí)管道中的氫分壓，配合鈦升華阱可以獲得高于10-9Pa以上的真空度。由于渦輪分子泵內(nèi)表面積大，因此烘烤除氣是非常必要的，但烘烤溫度一般只允許到100℃左右。進(jìn)口真空泵維修
停止或啟動(dòng)時(shí)發(fā)出巨大噪音
原因：電機(jī)供電電壓不足；電機(jī)缺相運(yùn)行；泵長(zhǎng)期未使用，造成腐蝕；泵吸收雜質(zhì)；葉輪拉動(dòng)分配板。
故障排除：檢查電源電壓是否過(guò)低；檢查電機(jī)接線是否牢固；如果泵長(zhǎng)時(shí)間不使用，可以添加除銹劑或打開(kāi)泵蓋進(jìn)行除銹；打開(kāi)泵蓋清除雜質(zhì)；調(diào)整葉輪和分配板之間的距離。進(jìn)口真空泵維修
在分子流動(dòng)范圍內(nèi)（即在壓力低于 10-3毫巴 （0.75 x 10-3Torr）） 氣體分子的平均自由程大于轉(zhuǎn)子和定子葉片之間的間距（通常為零點(diǎn)幾毫米）。進(jìn)口真空泵維修，相應(yīng)地，分子主要與光學(xué)致密的轉(zhuǎn)子葉片碰撞，從而產(chǎn)生高*的泵送作用。在層流（恒定）流量范圍內(nèi)（即壓力超過(guò) 10-1毫巴 （0.75 x 10-1Torr））轉(zhuǎn)子的效果因分子本身之間的頻繁碰撞而受損。
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